萩原教授の研究グループが砥粒加工学会賞論文賞を受賞

2016年3月16日 トピックス

 平成28年3月4日(金)、大田区産業プラザPiO(東京都)で開催された砥粒加工学会通常総会において、工学部機械工学科の萩原親作教授を代表とし、久慈照信氏(株式会社アポロエンジニアリング)、 清水毅准教授(工学部情報メカトロニクス工学科)、 Yuzairi Abdul Rahim さん(大学院博士課程2年(情報機能システム工学専攻))、 篠塚郷貴技術職員(工学部附属ものづくり教育実践センター)を共同研究者とするグループが砥粒加工学会賞論文賞を受賞しました。この賞は、砥粒加工学会誌の過去1年間に掲載された論文を対象に、内容が特に優秀と認められるものに贈られるものです。

 受賞論文題目は、「天然資源を活用した炭砥石の開発第1報:シリコンウエハの研磨」で、天然資源である炭をミクロンサイズまで破砕することで鋭利な粒子形状が得られることに着目し、結合材として天然資源であるゼラチンを混ぜた炭砥石を開発したこと、さらに開発した炭砥石で半導体シリコンウエハのナノレベル鏡面研磨に成功したことが評価されたものです。

 受賞した萩原教授は、「名誉ある賞を頂き感謝しております。5年間の研究の末、実用レベルに到達することができました。 現在は身延町(山梨県)の竹炭を最良の研磨材として活用しています。既に複数社から研磨依頼が来ており、更なる成果を目指します。」と述べています。