金 蓮花工学部准教授が第20回光設計奨励賞を受賞

　平成29年10月30日（月）～11月2日（木）、筑波大学東京キャンパス（東京都文京区）で開催された一般社団法人 日本光学会主催「日本光学会年次学術講演会2017」にて、金 蓮花工学部准教授が「第20回光設計奨励賞」を受賞し、受賞記念講演を行いました。

　本賞は、光設計分野における技術交流・研究活性化を目的として、同学会が優れた研究・技術・発明を表彰しているもので、将来性・実用性・独創性の3つの項目で評価されます。

　受賞テーマは「広範囲・高分解能・高精度イメージングエリプソメータの開発」で、（株）目白67の上原 誠 代表取締役との共同研究です。本研究では、斬新な光学系設計と測定原理を用いて2次元エリプソメータの広い測定範囲での高空間分解能の高精度化を実現しました。将来的に、計測装置の性能向上による半導体分野でのナノスケール回路パターンの限界寸法（Critical Dimension）の2次元計測、バイオ分野、材料分野などへの応用が期待されます。

　受賞した金 准教授は「このような賞をいただき大変光栄です。一緒に研究に励んできた研究グループの学生と先生方に感謝を申し上げます。今後とも光設計分野の発展のため一層尽力いたします」と述べています。

　※エリプソメータ…材料分野やバイオセンサ分野や半導体分野等で使用されている、被検試料の薄膜の厚さや屈折率を測定する機器。

　（一社）日本工学会光設計研究グループ　光設計賞